M00100 - SEMI M1 - 鏡面単結晶シリコンウェーハの仕様 StdPbc-0813 including FOUPs and open cassettes

including FOUPs and open cassettes

SEMI E30-0200 (technical revision)

教育訓練（第8節）

本仕様では，装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により，データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには，関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり，無効にして，消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。

M00100 - SEMI M1 - 鏡面単結晶シリコンウェーハの仕様 StdPbc-0813 including FOUPs and open cassettesSEMI SEMI SOI TTV 1 322216 nm300450 mm1 Polycrystalline siliconSEMI M16 JEITA EM 3601A, SEMI M62, SEMI M61, SEMI M8, SEMI M24, SEMI M38, SEMI M57, SOISEMI M41SEMI M71JEITA EM 3603B, SEMI PV22 SOI 23SI100 mm 1. 10. 11. 10. 21. 111. 121. 13. 1 1. 13. 2JEITA EM 36021. 15JEITA EM 3602 1. 1 2 1. 2 3 1. 5 100mm525m m 1. 6 100mm625m m 1. 7 125mm 1. 8. 1 150mmT 3 1. 8. 2 150mmT 4 1. 9. 1 200mmT 3 1. 9. 2 200mmT 4 1. 9. 3 200mm 1. 10. 1 200mmT 3 1. 10. 2