M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M31-0708 - Superseded

M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M31-0708 - SupersededNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Silicon Wafer Global Technical Committee200853global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org199820073 IC300 mm (front opening shipping Box: FOSB) FOSBFOSB FOSBICFOSBFOUPFOBITICFOSBFOUPFOBIT 5. 4FOSB 5. 4. 1 5. 4. 2

マテリアル搬送・格納コンポーネントの範囲には，下記のインタフェースが含まれる。

SEMI F57 — Specification for High Purity Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

and the mutual positional relationship required to describe each position when AMHS loads and unloads the substrate to or from the manufacturing equipment

SEMI MF374 — Test Method for Sheet Resistance of Silicon Epitaxial

This edition was approved for publication by the global Audits & Reviews Subcommittee on April 30

but are not limited to:

この仕様は，現在の追跡可能性とラベル表示手順から将来を予想した総合的な単一化システムへのスムーズな移行に備えている。

SEMI M52は，走査型表面検査システム（SSISs: scanning surface inspection systems）の校正のため，認証された標準試料（CRMs: certified reference materials）の使用を要求している。校正方法は，SEMI M53で規定されている。本テスト法は，差分移動度解析器（DMA: differential mobility analyzer）を用いた特定のパーティクル堆積システムが，要求されているCMRsを制作出来るか否かを決定する手順を提供する。

when fulfilled

Originally published in 1986

specimen preparation

1-0704 - SECS-II Support for Event Reporting Standard